失效现象

分析方法

图 SEM-EDX 分析

通过SEM-EDX分析结果来看：两样品中均有部分氧化和氟化，在表面生成氧化物和氟化物。

图 XPS分析

通过XPS的进一步分析含O和F等离子腐蚀在表层生成氧化物和氟化物，导致电阻增大，从而产生黑色电弧印迹。