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离子色谱

  • 仪器型号：

    METROHM:930 COMPACT

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仪器型号

应用范围

  • 半导体设备零部件（O-ring、ESC、SiC、Showhead、Valve阀、石英件、泵、精密轴承等）
  • 超净聚合物材料（PFA、PVDF、PEEK、PP、FEP、PA、PVC、PS、PTFE等）
  • 无尘耗材（如：包装袋、无尘布、手套等）
  • 环境气体
  • 超纯水

适用样品

  • 固体样品：如金属、陶瓷、石英、聚合物管件等（任意形状和尺寸皆可）
  • 液体样品：如超纯水等

预处理方法

  • 浸泡法
  • 冲击式吸收瓶法

技术能力

  • Class 100级洁净室环境
  • 熟练的微污染控制经验

参考标准（部分）

  • GB/T 11446.7-2013、HJ 812-2016、ASTM D4327-17、ASTM D6919-17、IEST-RP-CC005.4、IEST-RP-CC032.1、IEST-RP-CC004.3、HJ 799-2016、ASTM F1374-92、SEMI F57-0622、SEMI F40-0621

应用文献

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