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电感耦合等离子体质谱仪

  • 仪器型号:

    Perkin-Elmer NexION 2000 Perkin-Elmer NexION 5000 Agilent 7900

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  • 应用范围
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  • 预处理方法
  • 应用文献

仪器型号

应用范围

  • 半导体设备零部件(O-ring、ESC、SiC、Showhead、Valve阀、石英件、泵、精密轴承等)
  • 超净聚合物材料(PFA、PVDF、PEEK、PP、FEP、PVC、PTFE等)
  • 高纯试剂(如:硝酸、硫酸、氢氟酸、盐酸、异丙醇等)
  • 无尘耗材(如:包装袋、无尘布、手套等)
  • 超纯水

适用样品

  • 固体样品:如金属、陶瓷、石英、聚合物管件等(任意形状和尺寸皆可)
  • 液体样品:如高纯试剂、超纯水等

预处理方法

  • 浸泡法
  • 棉签擦拭法
  • 表面萃取法

技术能力

  • Class 10(ISO Class 4)级的测试环境
  • 熟练的微污染控制经验
  • 可实现ppt及亚PPQ的检出能力!

参考标准(部分)

  • ISO 14644-1、ISO 17294-2:2016、US EPA Method 6020B、US EPA Method 200.8、IES-RP-CC018、IES-RP-CC026、GB/T 41881-2011、GB/T 28159-2011、SEMI F57-0622、SEMI F40-0621

应用文献

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