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硅片

仪器型号：

FEI Theims Z，Titan Cubed Themis G2300，JEM-ARM200F
预约次数：

2次

适用范围
检测项目
检测方式
检测仪器

适用范围

硅片

检测项目

元素：锂、硼、钴、砷、银、钨、钠、钾、镁、钙、铁、锌、铜、铬、镍、铅、锰、铝、锑等
阴离子：SO₄^2-, Cl^-, NO₂^-、Br^-、NO₃^-、PO₄^3-, F^-
阳离子：NH₄⁺, Li⁺, Na⁺, K⁺, Ca²⁺, Mg²⁺
硅片截面形貌

检测方式

寄样送检

检测仪器

电感耦合等离子体质谱仪 (ICP-MS)
离子色谱 (IC)
SEM-EDX
金相显微镜

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