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扫描电镜&能谱分析

仪器型号：

Hitachi TM4000 Plus Axia ChemiSEM

仪器型号
应用范围
适用样品
预处理方法
应用文献

仪器型号

应用范围

异物成分、形貌
气体金属管路
涂层孔隙率
颗粒计数及成分

适用样品

固体样品：如金属、陶瓷、聚合物材料等

预处理方法

直接观察法
间接取样法
切割
镶嵌
磨抛

技术能力

可观测区域直径＜122mm
分析元素检测范围：Be之后
最小分辨率：3nm(30KV下)

参考标准（部分）

JY/T 010-1996、ASTM E2109、SEMI F19、SEMI F37、SEMI F73、SEMI F60

应用文献

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