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液体颗粒计数器

  • 仪器型号：

    KS-42C

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仪器型号

应用范围

  • 半导体设备零部件（O-ring、SiC、Showhead、Valve阀、石英件、泵、精密轴承等）
  • 超净聚合物材料（PFA、PVDF、PEEK、PP、FEP、PA、PVC、PS、PTFE等）
  • 无尘耗材（如：包装袋、无尘布、手套等）
  • 液体传输系统颗粒脱落测试
  • 水质监测

适用样品

  • 固体样品：如金属、陶瓷、石英、聚合物管件、滤芯等
  • 液体样品：如超纯水等

预处理方法

  • 浸泡萃取法
  • 摇晃萃取法
  • 超声萃取法
  • 静态/动态监测水质

技术能力

  • 可测≥0.1μm颗粒尺寸
  • 可容纳部件直径＜60cm
  • 可实现在线/离线测试

参考标准（部分）

  • GB/T 11446.9-2013、EST-RP-CC004.3、IEST-RP-CC005.4 、IEST-RP-CC032.1 、SEMI F104-0520、ISO 14644-9

应用文献

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