专注微污染检测领域

上海微纳精迅在检测服务领域深耕，聚焦微污染（超痕量的无损检测）与材料失效分析，为半导体产业提供全方位、高精度的检测解决方案，助力行业高质量发展。

服务范围

• 半导体设备零部件

涵盖ETCH、Photo、PVD&CVD、IMP等工艺设备部件检测，确保零部件洁净度。

• 半导体原材料

针对晶圆、高纯试剂、超纯水等原材料，严格把控质量关。

• 半导体制及应用环境

涉及无尘耗材、洁净室 AMC 环境、腔体环境、晶圆盒、运输管道等，营造稳定可靠的生产环境。

具体测试项目

微污染类（金属元素、离子、颗粒、有机物）

• 半导体设备零部件

ICP-MS、IC、LPC、Outgasing、RGA、TOC等。

• 超纯水

ICP-MS、IC、LPC、细菌、溶解氧、TOC、电导率、SiO₂等。

• 超纯液化学品

纯度、ICP-MS、IC、LPC等。

• 洁净空气污染 AMC

MM、MA、MB、MC、MD。

• 洁净室无尘耗材

ICP-MS、IC、LPC等。

• 管道气

ICP-MS、IC、颗粒、油分、露点、VOCs等。

• Wafer

ICP-MS、IC、LPC等。

• 超纯气体

ICP-MS、IC等。

• 超纯气体/液体传输设备材料

ICP-MS、IC、LPC、TOC、粗糙度、THC等。

材料类

•涂层类材料

厚度、硬度、结合力、粗糙度、表面形貌、孔隙率、成分分析、冷热冲击、色差、耐击穿电压、耐腐蚀性（盐雾）、耐高温、Outgasing（释气）。

• 不锈钢电抛层材料

粗糙度、表面缺陷、表面污染、表面化学组成、耐蚀性（CPT）。

测试样品展示

结语

上海微纳精迅以专业的检测技术与全面的服务范围为客户打造一个安全可靠的生产环境，提升产品的整体质量和市场竞争力，为半导体行业的质量控制与研发生产提供坚实保障，致力于成为行业信赖的微污染检测合作伙伴。