经典案例 | 上海微纳精迅检测技术有限公司【官网】

欢迎来到上海微纳精迅检测技术有限公司官网！

登陆

Door Liner涂层脱落—SEM-EDX分析

2023.06.27

失效现象

螺旋型合金Gasket在等离子刻蚀腔体内运行一段时间后，表面出现电弧黑色印迹，表面电阻急剧增大。

分析方法

切取失效样品中的电弧黑色印迹部位和正常样品中的光亮无印迹部位，分别制备表面样品进行SEM-EDX分析和XPS分析，获取样品表面和深层的元素分布信息。

SEM-EDX分析

Normal Sample
C
o
F
Arcing Sample
C
o
F

两样品中均有部分氧化和氟化，在表面生成氧化物和氟化物

XPS分析

Normal Sample
Arcing Sample

含O和F等离子腐蚀在表层生成氧化物和氟化物，导致电阻增大，从而产生黑色电弧印迹。

版权所有 © Copyright 2024 沪ICP备2024079632号上海微纳精迅检测技术有限公司